Alcatel Adixen AD100K korkea tyhjiö

Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h.

Adixen AD30K kuivapumppu, korkea tyhjiö
Uudet, tehokkaat, öljyttömät (kuivakäyntiset) pumput:
ADH-sarja on suunniteltu erityisesti aurinkosähköteollisuuteen
tarkoitettu vaativiin puolijohde- ja LED-markkinoiden prosesseihin,
imutuotto 600–4500 m³/h.

Puolijohteet: Korkea H2-pumppausnopeus
ADH-sarjan suorituskyky tuo seuraavat edut prosessiin:
- ADL-prosessisuorituskyky: korkea kevyiden kaasujen pumpputehokkuus
mahdollistaa nopeamman kammion tyhjennyksen prosessivaiheiden välillä
- Epitaksia ja EUV: suuri imuteho ja korkea virtausnopeus
täyttää vaativimmatkin prosessivaatimukset

Adixen AD30K kuivapumppu, korkea tyhjiö, AD 30 KL
Valmistaja: Alcatel Adixen
Tyyppi: AD30K.H
Valmistusvuosi: 2008

Adixen AD100K.H
Valmistaja: Alcatel Adixen
Tyyppi: AD100K.H
Valmistusvuosi: 2008

Tyhjiöpumppu:
Dodsikq Tyspfx Acwocn
Valmistaja: AERZEN
Tyyppi: GM 2000 CM-C
Kierrosluku: 6000 rpm
Jännite: 200–460 V
Taajuus (mineraaliöljy/PFPE-öljy): 100 c/s
Maksimi imukyky: 4035 m³/h
Maksimi kierrosluku: 5920 rpm
Moottoriteho S1/S6: 9/5,6 kW
Valmistusvuosi: 2008
Paino: 345 kg

Kuivapumppu:
Valmistaja: Adixen
Tyyppi: BF ADP122
Valmistusvuosi: 2008
Teho: 1,5 kW
Maksimi imukyky: 95 m³/h
Maksimi jatkuvapainetulo: 50 mbar
Maksimi poistoylipaine: 1200 mbar
Jäähdytysvesi: 60 l/h
Kierrosluku (pumppu): 3000–3600 rpm
Pumpun käyttölämpötila: 5 °C – 40 °C
Tulo-laippa: DN 50 ISO-KF
Poistolaippa: DN 40

Mainos käännettiin automaattisesti ja käännösvirheet ovat mahdollisia.