Rullasta rullalle sputterointi

Bobst Group SA Roll-To-Roll Sputtering

Sputterointilaitos GVE/Optilab: Rulla-rullalle (roll-to-roll) -tuotantolinja ultrahohuiden kerrosten (nanometriluokassa) talteensiirtoon/pinnoittamiseen. Laite kykenee talttomaan/pinnoittamaan erilaisia materiaaleja (metallit, läpinäkyvät sähkönjohtavat kerrokset) kalvomateriaaliin. Laitteessa on useita sputterointikatodeja, mikä mahdollistaa useiden ohuiden kerrosten samanaikaisen talteensiirron.

Gjdpfx Afjwi Sp Ao Aouh
GVE, Bobst Ltd, Optilab, 2010, tyhjiöpohjainen rulla-rullalle sputterointilaite, jossa 3 pinnoituskammiota (kussakin 2 katodia). Sisältää: - 520 mm kalvoleveys, kaksisuuntainen rullaus, inter- ja de-interleave-toiminnot. Kaikissa vyöhykkeissä magneettilevitaatioperusteinen turbomolekyylipumppaus. Jäähdytysrumba, uudelleenlämpöyksikkö (-20°C...+200°C). 1100 polycold-yksikkö, jossa kussakin sputterointivyöhykkeessä ja rullausvyöhykkeessä kryokelat. GVE AC keski-taajuinen plasma-yksikkö. Pinnoituksen jälkeinen resistanssin valvontajärjestelmä (mittaa resistanssia kalvon keskikohdassa). Siemens WIN CC -kosketusnäyttö M/K:n ja valvontajärjestelmän ohjaukseen. I/R-lämmitysvyöhyke (3 lämmitysyksikköä). Kalvojännite/jännitemuokkausjärjestelmä (PSU ym.). 1 yleistynyt magneetti (varustettuna 2 x 20 kW pulssitettavalla tasavirralla). 1 kaksoismagnetti (2 x 10 kW pulssitettavalla tasavirralla, piiloanodi). MFC:t ym. 1 täysin integroitu PEM sputterointiohjausjärjestelmä. Alkuperäinen hinta 1 450 000 €.

Mainos käännettiin automaattisesti ja käännösvirheet ovat mahdollisia.