08 Maseveon Station + LC-kaasunpoistoyksikkö

Masevon Station Chamber Up-Down + + LC Degassing Unit

1. Johdanto:
1. Tämä asiakirja kuvaa toiminnalliset vaatimukset koskien:
1.1. LC-lokeron kaasunpoistokammiota
1.2. LC-lokeron kaasunpoistokammio on (ohjattu tyhjiökammio), jossa alumiinialustalla oleva LC-neste kaasutetaan tyhjiöympäristössä tietyn ajan (eli ansaittu ilma poistetaan).
Tyhjiöprofiili:
1.1. Paineasetusarvot vapaasti säädettävissä välillä 1,103 ja 1,10-3 mBar
1.1.1. Mittausalue: 1,103 – 5,10-4
1.2. Aika-asetusarvot vapaasti säädettävissä välillä 1–600 min/vaihe
1.2.1. Kaasunpoistovaihe (D) voi kestää minuuteista päiviin
1.3. Evakuointi- ja ilmastusnopeuden on oltava säädettävissä
Fgsdpswam Saefx Abxoh
1.4. Evakuointijakso (A – D) suoritetaan automaattisesti
1.4.1. Ilmastusvaihe (E) on aktivoitava käsin (käyttäjä)
1.5. Tyypillinen kaasunpoistoprofiili
2. Sisäosat:
2.1. Ruostumattomasta teräksestä (alumiinista) valmistettu kiillotettu prosessikammio (sisäpuoli)
2.1.1. Vuotonopeus sovitaan erikseen
2.2. LC-lokeron (adapteri) vetolaatikko LC-lokeron helppoon (ilman tärähdyksiä/tärinää) kuormaamiseen/purkamiseen, katso kohta 2 LC-lokeron mitat ja liite 1
2.3. LC-lokeron on oltava koko ajan vaakasuorassa (vatupassi) LC-nesteen läikkymisen estämiseksi
2.4. Kammion on oltava helposti/nopeasti avattavissa puhdistusta ja/tai LC-lokeron kuormausta/purkua varten
2.5. Kammion sisäpinnan on oltava kiillotettu helpon puhdistuksen ja kontaminaation tai kosteuden kertymisen estämiseksi
2.6. Mahdollisuus tarkkailla (ikkuna) kaasunpoistojaksoa, esim. tarkkailu LC-nesteen käyttäytymisestä LC-lokerossa
2.7. Prosessikontaminaatiota ei saa aiheutua kammion materiaalista tai valmistuksesta

Mainos käännettiin automaattisesti ja käännösvirheet ovat mahdollisia.