Kuiva alipainepumppu

ULVAC Model LR600

Tässä tarjoamme ULVAC:n kuivavakuumipumpun.

ULVAC kuivavakuumipumppu
Ratkaisu vaativiin prosessipumppuihin
Kuivavakuumipumppu
ULVACin ainutlaatuinen lähestymistapa latenttilämmön hyödyntämiseen pumpun rungossa mahdollistaa LR / HR / UR -sarjan pumpuille korkean suorituskyvyn jopa vaativimmissa prosesseissa.
ULVAC on keskittänyt suunnittelunsa erittäin tasaisen ja korkean lämpötilan ylläpitämiseen kaikissa pumpun vaiheissa, ja tämä pumppusarja on optimoitu erityisesti CVD- ja etsaussovelluksiin.
Yhteensopiva ULVAC ECO-SHOCK -järjestelmän kanssa lisäenergiasäästöjä varten.

Ominaisuudet:
LR-sarjan pumppu on suunniteltu latausluukkukammioihin ja PVD-prosesseihin.
ULVAC:n ainutlaatuinen alumiinirakenne mahdollistaa erittäin tasaisen lämpötilan jakautumisen koko pumpun rungossa.
ULVAC LR -sarjan pumppu on suunniteltu käyttökohteisiin, joissa tarvitaan lämmitettyä pumppua, lämmitettyjä kaasuputkia ja / tai lämmitettyjä poistoputkia.
Erinomainen heliuminkäsittelykyky.
Kotelomoottori turvallisuuden ja helpon huollettavuuden takaamiseksi.
Gsdod R U Etopfx Ag Uobg
Sietää jopa 500 ms sähkökatkoksia.
Sisäosat on käsitelty erityisesti korkean pinnankovuuden ja erinomaisen korroosionkestävyyden saavuttamiseksi.
Tämä estää sisäisten osien kulumista, kun ne altistuvat syövyttäville kaasuille. (LR-sarja)
Suunniteltu prosessikaasuille, jotka tuottavat jauhemaista sivutuotetta, kuten piikiteenkasvatusuunit.
Esivaihepumppuna turbo- ja mekaanisille alipainevahvistinpumpuille.
Tyyppi: LR600
Kunto: uusi / new
Toimitussisältö: (katso kuva)
(Muutokset ja mahdolliset virheet teknisissä tiedoissa pidätetään!)
Lisätietoja saa soittamalla, vastaamme mielellämme.

Mainos käännettiin automaattisesti ja käännösvirheet ovat mahdollisia.