Kuiva alipainepumppu

ULVAC Model LR600

Tässä tarjoamme ULVAC:n kuivavakuumipumpun.

ULVAC kuivavakuumipumppu
Ratkaisu vaativiin prosessipumppuihin
Kuivavakuumipumppu
ULVACin ainutlaatuinen lähestymistapa latenttilämmön hyödyntämiseen pumpun rungossa mahdollistaa LR / HR / UR -sarjan pumpuille korkean suorituskyvyn jopa vaativimmissa prosesseissa.
ULVAC on keskittänyt suunnittelunsa erittäin tasaisen ja korkean lämpötilan ylläpitämiseen kaikissa pumpun vaiheissa, ja tämä pumppusarja on optimoitu erityisesti CVD- ja etsaussovelluksiin.
Kodpfx Adod R U Etoisdw
Yhteensopiva ULVAC ECO-SHOCK -järjestelmän kanssa lisäenergiasäästöjä varten.

Ominaisuudet:
LR-sarjan pumppu on suunniteltu latausluukkukammioihin ja PVD-prosesseihin.
ULVAC:n ainutlaatuinen alumiinirakenne mahdollistaa erittäin tasaisen lämpötilan jakautumisen koko pumpun rungossa.
ULVAC LR -sarjan pumppu on suunniteltu käyttökohteisiin, joissa tarvitaan lämmitettyä pumppua, lämmitettyjä kaasuputkia ja / tai lämmitettyjä poistoputkia.
Erinomainen heliuminkäsittelykyky.
Kotelomoottori turvallisuuden ja helpon huollettavuuden takaamiseksi.
Sietää jopa 500 ms sähkökatkoksia.
Sisäosat on käsitelty erityisesti korkean pinnankovuuden ja erinomaisen korroosionkestävyyden saavuttamiseksi.
Tämä estää sisäisten osien kulumista, kun ne altistuvat syövyttäville kaasuille. (LR-sarja)
Suunniteltu prosessikaasuille, jotka tuottavat jauhemaista sivutuotetta, kuten piikiteenkasvatusuunit.
Esivaihepumppuna turbo- ja mekaanisille alipainevahvistinpumpuille.
Tyyppi: LR600
Kunto: uusi / new
Toimitussisältö: (katso kuva)
(Muutokset ja mahdolliset virheet teknisissä tiedoissa pidätetään!)
Lisätietoja saa soittamalla, vastaamme mielellämme.

Mainos käännettiin automaattisesti ja käännösvirheet ovat mahdollisia.